在海綿鈦冶金過程中產生的廢水包括：冷卻水，末被污染；設備清潔的洗滌水和場地所用沖洗水，一般含有HCl和FeCl3等成分；廢氣凈制用的淋洗水，一般含HCl和一些固體雜質顆粒；鈉還原工藝海綿鈦的洗滌液，含有NaCl和HCl等成分。這些廢水不僅含有固體顆粒雜質，而且還含少量的廢酸和廢堿。這種廢水常用中和法處理，即在中和池內調至呈中性。一般將各種酸性和堿性廢水同時加入起中和作用。在海綿鈦冶金中通常酸性廢水量較多，需要補加石灰石或其它堿性物品。中性水液可以直接經排污管道排走。但這種處理方法還不徹底，因為在排走的水中還含有較多的鹽類，最好是經過濾凈化，使水循環使用。廢水經中和沉淀后，再經過濾便可使用(工業水)，最后必須清除濾渣或污液。
在海綿鈦精制作業中，還有一些廢液須加處理。
(1) 低沸點雜質餾出液。精餾餾出液，含SiC1410％～15％和TiCl490％～85％，還有其他一些雜質。應合理的利用其中的有價成分，一般采用再精餾的辦法，將TiCl4和SiCl4分離，并分別加以利用。如某廠精制作業中，累積了55t精餾餾出液，利用精制操作間歇，用原流程原設備進行再精餾處理，將上述餾出液重新分離后，制得純TiCl448t(含SiC14小于1％)和2t SiC14 (含SiC1498.5％)，粗TiCl4可返回經再處理制取純TiCl4，而SiC14可作為生產多晶硅、石英和純SiO2的原料。
(2) 含銅釩廢酸液的回收。用作除釩工藝的銅屑或銅絲外表粘附釩雜質后便影響除釩效果，應經洗滌再生操作。通常用鹽酸洗滌，其中再生后的純銅可以返回使用。而在酸洗液里含有CuCl2和VOCl2，由于批量小，可集中處理。
